簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="反應式濺鍍"


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    界面氧化鋁對Al/TaOxNy/TaN及TaN/TaOxNy/Al元件之雙極式電阻切換影響
    • 材料科學與工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 黎佳惠 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極,以取代昂貴之白金(Pt)作為電極,並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy,製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
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